アズワン 4インチTi(スパッタ)膜付きウェーハ(50nm ±10% 研究用[P(100) 1-100] 片面ミラーDF品 3枚入

アズワン 4インチTi(スパッタ)膜付きウェーハ(50nm ±10% 研究用[P(100) 1-100] 片面ミラーDF品 3枚入

販売価格: 18,220(税込)

お届け日: 02月28日〜指定可
在庫数 13枚

商品詳細

●研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
●サイズ:4インチシリコンウェハ
●Ti(チタン)【スパッタ】膜厚み:50nm±10%(データ付き)
●直径(mm):100.0±0.5
●ウェハー厚(μm):525±25
●製造方法:CZ法
●導電型:P型
●面方位:100
●抵抗値(Ω・cm):1~100
●OF長(mm):有
●面状態:ミラー/エッチド
●パーティクル:ダストフリー
●TTV(μm):≦20
●数量:3枚(1箱)
●※特注対応品
●その他積層膜、パターニングなど多種取り扱いが御座いますので、お気軽にご相談下さいませ。
●多様な形状加工と表面処理が可能です(例:エッチング、ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー)。
●ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。
●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
●※膜ムラや膜厚みの狙いの商品につきましては、不問とさせて頂きます。
入数:1箱(3枚入)

アズワン 4インチTi(スパッタ)膜付きウェーハ(50nm ±10% 研究用[P(100) 1-100] 片面ミラーDF品 3枚入



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