アズワン 6インチ PE-SiN（PE-CVD）膜付きウェーハ（800nm 研究用[P（100） 1-100] 片面ミラーDF品 3枚入

販売価格: 12,110円(税込)

お届け日: 02月25日〜指定可

在庫数 4枚

商品詳細

●研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
●サイズ：6インチシリコンウェハ
●SiN（シリコンナイトライド）【PE-CVD】膜厚み：800nm狙い（データ付き）
●直径（mm）：150.0±0.5
●ウェハー厚（μm）：625±25
●製造方法：CZ法
●導電型：P型
●面方位：100
●抵抗値（Ω・cm）：1～100
●OF長（mm）：47.5±2.5
●面状態：ミラー／エッチド
●パーティクル：ダストフリー
●TTV（μm）：≦20
●数量：3枚（1箱）
●※特注対応品
●その他積層膜、パターニングなど多種取り扱いが御座いますので、お気軽にご相談下さいませ。
●多様な形状加工と表面処理が可能です（例：エッチング、ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー）。
●ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。
●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
●※膜ムラや膜厚みの狙いの商品につきましては、不問とさせて頂きます。
入数:1箱(3枚入)